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SEMI P5 - ペリクルの仕様 -
Volume(s):
Microlithography
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
これ
仕様はフォトマスクで使用されるペリクルの一般的な要件をカバーしています
またはフォトリソグラフィー露光システムのレチクル。
この仕様は、次のいずれかで使用するペリクルを対象としています。 広帯域、多色または単色の露光システム。
参照SEMI規格（別途購入）
なし。
改訂履歴
SEMI P5-0416 (再承認 1221)
SEMI P5-0416 (技術改訂)
SEMI P5-0704 (技術改訂)
SEMI P5-94 (再承認 1103)
SEMI P5-94 (技術改訂版)
SEMI P5-92 (技術改訂版)
SEMI P5-86 (初公開)
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