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SEMI MS11 - マイクロ流体ポートおよびピッチ寸法の仕様 -
Volume(s):
MEMS
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、MEMS/NEMS グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2017 年 12 月 13 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって出版が承認されました。2018 年 3 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。
この文書の目的は、マイクロ流体デバイスの開発者に標準ピッチ寸法を提供することです。
この文書の範囲は、2 つの嵌合コンポーネントが適切に適合することを保証する、マイクロ流体インターフェース設計のピッチとポート サイズの特定の値のセットを提供することに限定されます。
参照されるSEMI規格なし。
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