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SEMI MS6 - マイクロ流体システムを接続するための設計と材料のガイド -
Volume(s):
MEMS
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、世界的な MEMS 委員会によって技術的に承認されました。この版は、2007 年 12 月 20 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって出版が承認されました。この版は、2008 年 2 月に www.semi.org で入手可能になりました。
この文書は、冗長なエンジニアリング労力を削減し、設計、製造性、操作性の向上につながる、一般的な流体インターフェースの設計と材料の選択に関するガイドラインを提供します。
参照されるSEMI規格SEMI E49 — 高純度および超高純度の配管性能、サブアセンブリ、および最終アセンブリに関するガイド
SEMI F1 — 高純度ガス配管システムおよびコンポーネントのリーク完全性に関する仕様
SEMI F79 — ガス分配コンポーネントに使用されるシリコンとのガス適合性に関するガイドライン
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