SEMI MF2166 - 特別なリファレンスウェーハを使用した非接触誘電特性評価システムのモニタリングの実践 -

Abstract

この規格はもともと ASTM International によって ASTM F2166-02 として発行されました。この製品は ASTM 投票手順によって正式に承認され、ASTM 特許要件に準拠していました。この規格の所有権はSEMIに譲渡されていますが、SEMIの投票手続きによって正式に承認されておらず、特許を扱うSEMI規則やSEMI編集ガイドラインのいずれにも準拠していません。 2003 年 10 月に www.semi.org で入手可能、2003 年 11 月に発行予定。最終発行は ASTM International によって ASTM F2166-02 として行われました。

これらの実践では、コロナを使用する非接触誘電特性評価システム (NDCCS) の性能を制御および監視するための、特別な電気的および物理的特性を持つウェーハの使用について説明します。熱酸化ウェーハは、温度バイアスストレスと大気への曝露によるパラメトリックドリフトのため、この目的には十分ではありません。さまざまな実験構成をカバーするために 3 つの方法が説明されています。方法 A — 点源コロナを使用するシステムの場合、方法 B — 線源コロナを使用し、パラメーターの完全なセットを取得するようにプログラムできるシステムの場合、方法 C — コロナを使用するシステムの場合線源コロナを使用しますが、移動イオン密度しか測定できません。

SEMI M20 — ウェーハ座標系を確立するための仕様

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