SEMI M80 - 450 mm ウェーハの輸送および出荷に使用される前開き輸送ボックスの仕様 -

Abstract

注意:この規格または安全性 現在の状態を維持するための条件が整っているため、ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。 ステータスが満たされていません。非アクティブな規格または安全ガイドラインが利用可能です SEMI から提供されており、引き続き使用できます。

この規格 450 mm ウェーハの出荷に使用されるフロント オープニング輸送ボックス (FOSB) を指定します。 ウェーハサプライヤーからその顧客 (通常は IC メーカー) まで、 ウェーハの品質を維持します。

この規格 最小限の仕様を設定する適切なレベルの仕様を設定することを目的としています。 すべての機械的な相互運用性を確保しながら、イノベーションを制限する インターフェース。

この規格 450 FOSB が生のシリコン ウェーハをロードする際に使用されることを前提としています。 Siサプライヤーでの検査や、その後の受入・検査にも使用されます。 どの生のシリコンウェーハがデバイスメーカーの別のキャリアに移送されるか。の 450 FOSB は、IC 製造プロセスでの使用を目的としていません。それは を使用してウェーハを 450 FOSB から 450 FOUP に移送することを推奨します。 自動化された方法。

参照されたSEMI 規格（別途購入）

セミ E144 — キャリア内の RFID タグとキャリア間の RF エア インターフェイスの仕様 半導体製造およびマテリアルハンドリング装置のRFIDリーダー

SEMI E154 — 450 mm のメカニカルインターフェース仕様 ロードポート

SEMI E158 — FAB ウェーハキャリアの機械仕様 450 mm ウェーハ (450 FOUP) およびキネマティックの輸送と保管に使用 カップリング

SEMI E162 — 450 mm のメカニカルインターフェース仕様 前開き配送ボックス ロードポート

SEMI M1 — 研磨単結晶シリコンの仕様 ウエハース

セミM74 — 直径 450 mm の研磨ウェーハの機械的取り扱いの仕様

リビジョン 歴史

セミ M80-0116 (技術改訂)

セミ M80-0514 (技術改訂)

セミ M80-0812 (技術改訂)

セミ M80-1111 (初公開)

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