SEMI M80 - 450 mmウェーハの搬送および出荷用フロントオープニング・シッピングボックスの機械仕様 -

Abstract

免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

本基準は、Silicon Wafer Global Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2014年1月24日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 org およびwww.semi.org で入手可能となる。初版は2011年11 月発行。前版は2012 年8 月発行。

本スタンダードは，ウェーハの品質を維持しながら，ウェーハサプライヤから顧客（主にIC製造者）へ450mm径ウェーハを伝えることに使用される前開きシッピングボックス（前開き輸送箱：FOSB ）を規定する。

この標準が意図しているのは、すべてのメカニカルインタフェースにおいて、相互運用性を確保しながら、技術革新を考えずに最小レベルの仕様を決定することである。

本基準が想定しているのは、450 FOSBはシリコン供給者に関して検査後ベアウェーハが450 FOSB に詰められ、また、デバイスメーカーに関して採用，検査，および他のキャリアに詰めるかえる工程に使われることであり、IC製造プロセス工程で使うことは想定されていない。ウェーハは自動化された装置によって450 FOSB から450 FOUP に詰め替えられることが先にある。

SEMI E144 — 半導体製造装置および資材運搬装置におけるキャリア内の RFID タグと RFID リーダー間の RF エア インターフェイスの仕様
SEMI E154 — 450 mm ロードポートのメカニカルインターフェース仕様
SEMI E158 — 450 mm ウェーハ (450 FOUP) の輸送および保管に使用される FAB ウェーハ キャリアおよびキネマティック カップリングの機械仕様
SEMI M74 — 直径 450 mm の研磨ウェーハの機械的取り扱いの仕様

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