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SEMI M45 - 300 mm ウェーハ出荷システムの仕様 -
Volume(s):
Materials
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、シリコンウェーハ世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2017 年 5 月 16 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2017 年 8 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2001 年 3 月に出版されました。以前は 2010 年 11 月に出版されました。
この規格は、ウェーハサプライヤーから顧客までの 300 mm ウェーハの輸送に関連する総コストを最小限に抑えるための輸送関連の資材とシステムを規定しています。
この規格は、SEMI M31で規定される輸送箱（FOSB）を使用した300mmウェーハの輸送に関する資材を規定しており、ウェーハ輸送箱、袋、ラベル、クッション、二次容器、パレット、輸送書類が含まれます。
参照されるSEMI規格SEMI M31 — 300 mm ウェーハの輸送および出荷に使用される前開き輸送ボックスの機械仕様
SEMI T3 — ウェーハボックスラベルの仕様
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