Japan Store
SEMI M41 - 電源デバイス／IC用シリコン・オン・インシュレーター（SOI）の仕様 -
Volume(s):
Materials
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、グローバルシリコンウェーハ委員会で技術的に承認されている。現版は2007年4月25日、グローバル監査審査小委員会にて発行が承認された。 で、そして2007年7月にCD-ROM で入手可能となりました。初版は2000年6月発行、前版は2001年11月に発行されました。
本仕様は、半導体パワー用デバイス／ IC製造用のシリコン・オン・インシュレーター（ SOI ）ウェーハに関する要求条件を規定している。特性と品質に関する要求条件を明確にすることができます。
参照されるSEMI規格
SEMI M1 — 研磨単結晶シリコンウェーハの仕様
SEMI M34 — SIMOX ウェーハの仕様ガイド
SEMI M53 — パターンなし表面へのポリスチレン ラテックス球の認定済み堆積を使用した走査表面検査システムの校正の実践
 |
Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards. |
Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.
0件