Japan Store
SEMI M37 - 低転位密度Inp基板のエッチピット密度（EPD）の測定方法 -
Volume(s):
Materials
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本試験方法は，Global Compound Semiconductor Committeeで技術的に承認されたもので，日本地区スタンダード委員会材料部会が直接責任を持つ。現版は1999 年3月17日に日本地区スタンダード委員会にて承認された1999年4月にまずSEMI On Line で入手可能となり、1999 年6 月発行に至る。
本書は、低転位密度InP ウェーハのエッチピット密度（ EPD ）を測定する方法を規定する。
参照されるSEMI規格
なし。
 |
Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards. |
Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.
0件