Japan Store
SEMI M34 - SIMOXウェーハを規定するための指針 -
Volume(s):
Materials
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この指針は、半導体装置の厚さの製造に用いられるさ0.5μm以下のシリコンフィルムを持つSIMOX（酸素の注入による分離）ウェーハの仕様のためのものである。 測定されたパラメータに対する特定値は，適用のためユーザと供給ヤとの間の解決によって決定される。パラメータ，検査及び合格基準を決定することにより，ユーザと供給ヤは共に、一律に製品特性及び品質の要求条件を決めることができます。
参照されるSEMI規格
SEMI M1 — 研磨単結晶シリコンウェーハの仕様
SEMI M22 — 誘電体絶縁 (DI) ウェーハの仕様
 |
Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards. |
Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.
0件