SEMI M31 - 300 mm ウェーハの輸送および出荷に使用される前開き輸送ボックスの機械的特徴の仕様 -

Abstract

この規格は、シリコンウェーハ世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2018 年 2 月 1 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2018 年 7 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は1998年6月。以前は 2008 年 7 月に出版されました。

この規格は、ウェーハの品質を維持しながら、ウェーハサプライヤーから顧客 (通常は IC メーカー) に 300 mm ウェーハを出荷するために使用されるフロントオープン輸送ボックス (FOSB) を指定します。

この規格は、すべての機械的インターフェースにおけるモジュール性と互換性を確保しながら、イノベーションに最小限の制限を設ける適切なレベルの仕様を設定することを目的としています。ただし、この規格は、射出成形プラスチック FOSB がそれに準拠して製造できるように作成されており、輸送中やドアの開閉中にウェーハの品質を維持するために利用できます。

この規格では、FOSB がウェーハ製造の最終工程、受入・検査、および FOSB からフロントオープンユニファイドポッド（FOUP）、工場間搬送用フロントオープンボックス（FOBIT）へウェーハを搬送する際に使用されることを想定しています。または、IC 製造施設内でカセットを開けます。 FOSB は、IC 製造プロセスでの使用を目的としていません。自動化された方法を使用して、ウェーハを FOSB から FOUP、FOBIT、またはオープンカセットに移送することをお勧めします。 ¶ 5.4 で説明されているように、購入者はどのタイプの FOSB ドアが必要かを指定する必要があります。

1. ¶ 5.4.1 で説明されている手動ドア。また
2. ¶ 5.4.2 で説明されている出荷可能な自動ドア。

SEMI E1.9 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるカセットの機械仕様
SEMI E15 — ツールロードポートの仕様
SEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの仕様
SEMI E47.1 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用される FOUPS の機械仕様
SEMI E57 — 300 mm ウェーハキャリアの位置合わせとサポートに使用されるキネマティックカップリングの仕様
SEMI E62 — 300 mm フロントオープニング インターフェース機械規格 (FIMS) の仕様
SEMI M45 — 300 mm ウェーハ出荷システムの仕様
SEMI S8 — 半導体製造装置の人間工学工学に関する安全ガイドライン

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