SEMI M31 - 300 mmウェーハの搬送および出荷用フロントオープニング・シッピングボックスの機械仕様 -

Abstract

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免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

本基準は、Silicon Wafer Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2008年5月3日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 orgで。初版は1998年発行、前版は2007年3月に発行された。

本スタンダードは、ウェーハの品質を維持しながら、ウェーハサプライヤから顧客（主にIC製造者）へ300mm径ウェーハを伝えるのに使用される前開きシッピングボックス（前開き輸送箱：FOSB）を規定する。

この標準が意図しているのは、すべてのメカニカルインタフェースに関して、モジュール性と互換性を確保しながら、技術革新を考慮せず最小レベルの仕様を決定することである。 が本基準に準拠して製造できるように、そしてそのFOSBがウェーハ輸送、ドアの開閉時においてウェーハ品質を維持するために使用可能なように、本基準は作成されている。

本基準が想定しているのは、FOSBがウェーハ製造の段階最終でウェーハが詰められ、受け入れと検査を経て、IC工場内でFOSBからFOUP 、FOBITあるいはオープンカセットに詰め替えられるまでの工程に使うあることであり、IC工場内のプロセス工程で使うことは想定されていない。ウェーハは自動化された装置によってFOSBからFOUP、FOBITあるいはオープンカセットに詰め替えられることが前提。購入者側はFOSBのドアを以下のいずれかであるという規定する必要がある。

1. ¶ 5.4.1記載の手動操作用ドア
2. ¶ 5.4.2 記載の自動開閉用ドア

SEMI E1.9 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるカセットの機械仕様
SEMI E15 — ツールロードポートの仕様
SEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの仕様
SEMI E47.1 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるボックスおよびポッドの暫定機械仕様
SEMI E57 — 300 mm ウェーハキャリアの位置合わせと支持に使用されるキネマティックカップリングの機械仕様
SEMI E62 — 300 mm 前開きインターフェース機械規格 (FIMS) の暫定仕様
SEMI E119 — 300mmウェーハの工場間輸送用の縮小ピッチフロントオープンボックスの暫定機械仕様
SEMI M45 — 300mm ウェーハ出荷システムの暫定規格
SEMI S8 — 半導体製造装置の人間工学工学に関する安全ガイドライン

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