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SEMI M29 - 300 mm 配送ボックスの仕様 -
Volume(s):
Materials
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この仕様は世界的なシリコンウェーハ委員会によって技術的に承認されており、日本のシリコンウェーハ委員会が直接責任を負っています。最新版は、2003 年 8 月 8 日に日本の地域標準委員会によって承認されました。最初は 2003 年 9 月に www.semi.org で入手可能でした。 2003 年 11 月に出版予定。初版発行は 1996 年 12 月。
この仕様は、ウェーハメーカーから IC メーカーサイトの受け取りドックまで 300 mm ウェーハを安全に輸送するためのコンテナを定義します。
参照されるSEMI規格SEMI E1.9 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるカセットの暫定機械仕様
SEMI E57 — 300 mm ウェーハキャリアの位置合わせと支持に使用されるキネマティックカップリングの暫定機械仕様
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