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SEMI M26 - ウェーハの輸送に使用される 100、125、150、および 200 mm ウェーハ輸送ボックスの再利用のためのガイド -
Volume(s):
Materials
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
このガイドは世界的なシリコンウェーハ委員会によって技術的に承認されており、日本のシリコンウェーハ委員会が直接責任を負います。最新版は、2004 年 1 月 9 日に日本の地域標準委員会によって承認されました。最初は 2004 年 2 月に www.semi.org で入手可能でした。初版は 1995 年に出版されました。最後に出版されたのは 1996 年です。
この文書は、100、125、150、および 200 mm のウェーハ輸送ボックスを再利用するための、ボックス洗浄サービス、ウェーハ サプライヤー、およびウェーハ ユーザーのためのガイドです。その目的は、100、125、150、200 mm のウェーハのサプライヤーから顧客までの輸送に関連する総コストを削減することです。
参照されるSEMI規格SEMI M31 — 300 mm ウェーハの輸送および出荷に使用される前開き輸送ボックスの暫定機械仕様
SEMI M45 — 300 mm 出荷システムの暫定仕様
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