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SEMI M26 - ウェーハの運搬に使用される100 mm，125 mm，150 mm，200 mmウェーハシッピングボックスの再利用ガイド -
Volume(s):
Materials
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Silicon Wafer Committee で技術的に承認されている。現版は2010年8月27日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 で入手可能となる。 初版は1995年に発行、前版は2004 年3 月に発行された。
本書は100 mm 、 125 mm 、 150 mm 、 200 mm ウェーハシッピングボックスのリユースに関する、ボックス洗浄業者、ウェーハ供給者、ウェーハ利用者のためのガイドである。
その目的はウェーハ供給者から顧客への100 mm 、 125 mm 、 150 mm 、 200 mm ウェーハの輸送総に関するコストを削減することである。
参照されるSEMI規格
SEMI M31 — 300 mm ウェーハの輸送および出荷に使用される前開き輸送ボックスの機械仕様
SEMI M45 — 300 mm ウェーハ出荷システムの仕様
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