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SEMI M22 - 誘電体絶縁 (DI) ウェーハの仕様 -
Volume(s):
Materials
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、世界的なシリコンウェーハ委員会によって技術的に承認されました。この版は、2006 年 11 月 21 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって出版が承認されました。2007 年 2 月に www.semi.org で入手可能になりました。初版は 1992 年でした。以前は 2003 年 3 月に出版されました。
注意: この文書は 2007 年に投票され、撤回が承認されました。
誘電体分離 (DI) ウェーハは、耐放射線デバイスなどの特殊な半導体デバイスの製造に使用されます。この仕様は、そのようなウェーハの定義と調達を支援することを目的としています。
参照されるSEMI規格SEMI M1 — 研磨単結晶シリコンウェーハの仕様
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