SEMI M18 - オーダーエントリー用シリコンウェーハ仕様書フォーマット -

Abstract

この形式は、次のようなシリコン ウェーハのいくつかの分類を指定するための標準形式を提供します。エピタキシャルシリコンウェーハ;埋め込み層を備えたエピタキシャルシリコンウェーハ。アニールされたシリコンウェーハ、およびCMOSアプリケーション用のSOIウェーハ。この形式には、EDI メッセージで報告されるデータの種類を識別するために SEMI T6 で使用される電子データ交換 (EDI) コードもリストされています。このフォームは、寸法、物理的、電気的、化学的特性の詳細が定義または指定されている他の SEMI 仕様と組み合わせて使用​​するように設計されています。ただし、このフォームには、現在 SEMI 仕様に含まれていない多くの項目が含まれています。また、多くの項目は現在一般的に指定されていませんが、将来的には重要性が高まる可能性があります。その目的は、テクノロジーの柔軟性と拡張を提供することです。この形式では、さまざまなレベルの複雑さのシリコン ウェーハを指定して注文できます。それぞれのケースで最低限の完成度が示されており、ユーザーの特定の処理要件に合わせてウェーハをカスタマイズできる追加オプションも含まれています。特定の項目に興味がない場合は、入力する必要はありません。必須のエントリは、最小限の仕様 (直径、方向、ドーパント、抵抗率など) を目的としてマークされているエントリだけです。多くの項目の値は、SEMI M1 の研磨シリコン ウェーハ規格、または SEMI M1、SEMI M2、または SEMI M11 の欠陥限界表にリストされています。これらの標準仕様がウェーハを定義するのに十分な場合、フォームの各セクションに 1 つの入力だけが必要です。この形式には、EDI メッセージで報告されるパラメータを識別するために SEMI T6 で必要なコードもリストされます。必要に応じて、二次特性または識別子コードが一般化特性内にリストされます。審判の目的のため、直径 2 インチおよび 3 インチのウェーハには米国慣用単位を使用し、直径 100 mm 以上のウェーハには SI (System International、一般にメートル法と呼ばれる) 単位を使用するものとします。この規格は、その使用に関連する安全上の問題があったとしても、それに対処することを目的としたものではありません。適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。

参照されるSEMI規格

SEMI M1 — 研磨単結晶シリコンウェーハの仕様
SEMI M2 — ディスクリートデバイスアプリケーション用シリコンエピタキシャルウェーハの仕様
SEMI M11 — 集積回路 (IC) アプリケーション用のシリコン エピタキシャル ウェーハの仕様

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.