SEMI M18 - シリコンウェーハ発注仕様書開発のガディッド -

Abstract

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本基準は、Silicon Wafer Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2012年8月30日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1990年発行。前版は2007年11月発行。

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

シリコンテクノロジは、集積回路およびデバイス産業の基盤である。 シリコンウェーハは、電子機器に使用されるほとんどの集積回路およびデバイスの基礎である。本ガイドは、さまざまなシリコンウェーハ製品の適切な仕様に記載するためのそのような様式の作成方法およびさまざまな様式を、発注書を作成するときに協力して機能をさせることができる方法について示します。

本ガイドには，次の項目も含めて，仕様書を作成する方法について記載する。

• 様式の項、様式の列、様式のヘッダを特定する方法。

• 行のフォーマットおよび項目の番号付けの表示事項。

• 与えられたウェーハ製品に正しい新しい項目を様式に追加する方法。

• 仕様内に無い様式の別の項から新しい項目を参照する方法。

• 特定のウェーハの重要なパラメータを記載した発注書様式の項の1つではあるが、そのウェーハの仕様発注書に記載されていない項に責任があるグループからの新たな追加を要求する方法。

本ガイドでは、発注書項をリストアップし、記載される場所と使用方法を示します。

このガイドでは、シリコンウェーハの仕様発注情報の項を作成する方法に関する情報を提供します。

SEMI M1 — 研磨単結晶シリコンウェーハの仕様
SEMI M8 — 研磨単結晶シリコンテストウェーハの仕様
SEMI M16 — 多結晶シリコンの仕様
SEMI M24 — 研磨単結晶シリコンプレミアムウェーハの仕様
SEMI M38 — 研磨再生シリコンウェーハの仕様
SEMI M41 — パワーデバイス/IC 用のシリコン オン インシュレータ (SOI) の仕様
SEMI M57 — シリコンアニールウェーハの仕様ガイド
SEMI M59 — シリコンテクノロジーの用語
SEMI M61 — 埋め込み層を備えたシリコンエピタキシャルウェーハの仕様
SEMI M62 — シリコンエピタキシャルウェーハの仕様
SEMI M71 — CMOS LSI用シリコン・オン・インシュレータ(SOI)ウェーハの仕様

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