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SEMI M13 - シリコンウェーハの英数字マーキングの仕様 -
Volume(s):
Materials
/
Traceability
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、トレーサビリティ グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2017 年 8 月 18 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2018 年 3 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 1998 年に出版されました。以前は 2011 年 10 月に出版されました。
この仕様では、シリコンウェーハ用の英数字マーキングシステムについて説明します。マーキングコードには、ウェーハ識別番号に加えて、起源、おおよその抵抗率、ドーパント種、結晶成長方向に関する情報が含まれています。この仕様を使用すると、シリコンメーカーが実行するすべてのウェーハマーキングの一貫性が保証されます。この一貫性により、自動光学式文字読み取り (OCR) 装置の性能要件を簡素化できます。
この仕様は、個々のウェーハを特徴付けるために使用される基本コードを定義することにより、実際のオペレータの解釈に必要な情報を提供します。
この仕様は、特に平らなシリコンウェーハとノッチ付きシリコンウェーハの識別のために、英数字コードの文字セット、位置、および関連する寸法と公差を定義します。
この仕様は、この規格に準拠する場合に使用されるマーキング技術については扱いません。
参照されるSEMI規格なし。
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