M01300 - SEMI M13 - シリコンウェーハの英数字マーキングの仕様

SEMI M13 - シリコンウェーハの英数字マーキングの仕様 -

Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100

Volume(s): Materials / Traceability
Language: Japanese

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Type: Single Standards Download (.pdf)

リビジョン: SEMI M13-0706 (再承認 1011) - 置き換えられました

リビジョン

Abstract

本基準は、global Traceability Committee で技術的に承認されている。現版は2006年5月16日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 ，そして2006年7月にCD-ROM で入手可能となりました。 初版は1988年発行、前版は2003年11 月に発行されました。

本仕様は，シリコンウェーハの英数字マーキングシステムについて記述している。マーキングコードが含まれている情報は，ウェーハ識別数値に加えて，出所（ベンダー），およその比抵抗値，ドーパント種および結晶成長方位本仕様は、ウェーハメーカーによって実施されるすべてのウェーハマーキングの一貫性を保証するものである。 この一貫性により、自動光学文字読取装置（ OCR ）の性能に対する要求条件の簡素化がなる可能性があります。

個々のウェーハを特徴とするのに用いられる基本的なコードを定義することで、本仕様は、実際のオペレータによる解釈に必要な情報を提供する。

参照されるSEMI規格

なし。

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