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SEMI M12 - ウェーハ前面のシリアル英数字マーキングの仕様 -
Volume(s):
Materials
/
Traceability
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この仕様は、シリコンまたはその他の半導体ウェーハのシリアル英数字マーキングを提供します。ウェーハのシリアル番号は、ウェーハやデバイスの製造中の追跡と制御を目的として、適切なデータベース システムに保存されているウェーハの特性を個々のウェーハに関連付けます。
この仕様は、マークに使用される基本コードを定義することにより、ウェーハ メーカーが実行するウェーハ マーキングの一貫性を保証します。したがって、自動光学式文字読み取り (OCR) 装置の性能要件の簡素化が可能になり、ウェーハを取り扱う必要がなく、人間が支援なしで即座に判読できるようになり、ウェーハレベルのプロセス変動の解決が促進されます。
マーキング コードは、広範囲のウェーハ製品 (つまり、エピ、SOI、処理済み研磨ウェーハなど) に対して有効であることを目的としています。
この仕様は、特に平らなシリコンウェーハとノッチ付きシリコンウェーハのシリアル識別のために、英数字コードの幾何学的および空間的限界を定義します。
この仕様では、この規格に準拠する場合に使用されるマーキング技術については説明しません。
参照SEMI規格（別途購入）
SEMI M13 — シリコンウェーハの英数字マーキングの仕様
改訂履歴
SEMI M12-0706 (再承認 0318)
SEMI M12-0706 (再承認 1011)
SEMI M12-0706 (技術改訂)
SEMI M12-1103 (技術改訂)
SEMI M12-0303 (技術改訂)
SEMI M12-0998E (編集改訂版)
SEMI M12-0998 (技術改訂)
SEMI M12-92 (技術改訂)
SEMI M12-89 (技術改訂)
SEMI M12-88 (初公開)
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