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SEMI M12 - ウェーハ表面の連続英数字マーキングの仕様 -
Volume(s):
Materials
/
Traceability
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Traceability Committee で技術的に承認されている。現版は2006年5月16日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 ，そして2006年7月にCD-ROM で入手可能となりました。 初版は1988年発行、前版は2003年11 月に発行されました。
この仕様が規定するのは、シリコンや他の半導体ウェーハ用に提供される連続英数字マーキングである。 ウェーハのシリアルナンバーはウェーハとデバイスの製造プロセスにおけるトラッキングおよび制御のために、適切なシステムデータベースに折りたたまれたウェーハのプロパティと個々のウェーハをリンクさせるものである。
マークに使われる基本的なコードを定義することで，この仕様はウェーハメーカーにより実施されるウェーハマーキングの同一性を確実にするものである。 を簡略化することを可能にし，ハウェーを遅らせながら人が直接進めることができる，またハレベルのプロセス変動を考慮するのに役立つものである。
このマーキングコードが意図しているのは、多くなウェーハ製品（例えば、エピ、SOI、加工されたポリッシュドウェーハなど）に当てはまることである。
参照されるSEMI規格SEMI M13 — シリコンウェーハの英数字マーキングの仕様
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