SEMI HB13 - HB-LED MOCVD 装置通信インターフェース用サセプタの仕様 -

Abstract

この規格の目的は、 補足 のために プロセスの通信と制御のための機器自動化インターフェース、 HB-LED 製造に使用される自動化および計測装置。それは、 サセプタ使用時のウェーハアクティビティを追跡するためのデータ収集を定義する またはウェーハキャリア。

 

この規格は、HB-LED の両方の基準として機能します。 メーカーや機器のサプライヤー。

 

このドキュメントでは、次のプロパティと機能について詳しく説明します。 HB-LEDで使用されるサセプタとウェハに関連する変数 SEMI HB4に基づいた製造プロセス。コレクションも参照します SEMI およびその他の規格の基準を定め、それらをどのように適用するかに関するガイダンスを提供する必要があります。 信頼性の高いHB-LEDの製造環境を確立するために、 機器のIT統合のための拡張可能な通信フレームワーク。

HB-LED 機器のこの仕様 通信インターフェースは、以下を含むすべての HB-LED 製造装置に適用されます。 生産で使用されるプロセス、自動化、および計測システム。ただし、それは これらの応用分野に限定されるものではありません。

 

この仕様は、次の要件を定義します。 ファクトリーオートメーション内の機器を統合するために使用される通信インターフェース システム。

 

この仕様は物理的要件を定義します サセプタとウエハ用。

 

この仕様は枚葉ウェーハに適用可能です 装置およびバッチ装置。

 

この規格は、以下を定義し、形式化するものとします。 通信ソフトウェア (SECS/GEM) における LED サセプタとウェーハの要件。

参照されるSEMI規格

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容（SECS-Ⅱ）

SEMI E30 — 通信および制御のための汎用モデル 製造装置（GEM）

SEMI HB4 — 通信の仕様 高輝度LED製造装置用インターフェース（HB-LED ECI）

 

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