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SEMI HB11 - HB-LED ウェーハの製造に使用するためのサファイア単結晶インゴットの仕様 -
Volume(s):
HB-LED
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
サファイア単結晶インゴットは、 HB-LED アプリケーション用の基板材料。共通処理を許可するには 複数のデバイス製造ラインで使用される装置は、 サファイア単結晶インゴットの仕様を標準化します。
この仕様は次の特徴を提供します サファイア単結晶インゴットの物理的仕様から成り、 方向、形状、欠陥の基準。
この仕様は主要なパラメータの要件です 製造にのみ使用されるサファイア単結晶インゴットの欠陥と HB-LED アプリケーション用のウェーハ。
重要なパラメータはインゴットの直径をカバーします。参照 面幅、端面方向、基準面方向、垂直度、 丸み。
に沿って差し引かれる必要がある欠陥 軸方向の の方向 サファイア単結晶インゴット、泡と雲で構成され、表面の傷、亀裂、 そしてチップ。
参照SEMI規格（別途購入）
SEMI HB8 —判定のための試験方法 サファイア単結晶の方位
SEMI HB10 — 単結晶サファイアの仕様 HB-LED ウェーハの製造に使用することを目的
SEMI M40 — 平面粗さ測定ガイド 研磨されたウェーハの表面
改訂履歴
SEMI HB11-0121 (技術改訂)
SEMI HB11-0819 (初公開)
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