SEMI HB4 - 高輝度 LED 製造装置用通信インターフェースの仕様 (HB-LED ECI) -

Abstract

この規格の目的は、機器を定義することです。 プロセス、オートメーション、およびプロセスの通信と制御のためのオートメーション インターフェイス 高輝度発光ダイオード（HB-LED）に使用される計測装置 製造業。両メーカーに経済的利益をもたらすことを目指す 関連する機能のサブセットを特定することで、機器サプライヤーとの連携を強化します。 HB-LED でのアプリケーションのための既存の SEMI 通信規格の 製造施設。一方で、この規格は、従業員の労力を軽減するはずです。 メーカーは自社の IT ファクトリーオートメーション システムに機器を統合できます。の上 一方、機器サプライヤーは、開発や開発にかかる労力を削減できる可能性があります。 さまざまな機器の通信インターフェイスを維持します。期待されるのは、 実証済みの一連の通信機能を提供して、コストとコストの両方を削減します。 製造生産環境における新しい機器の立ち上げの時期。

この仕様は、SEMI および 他の規格も参照し、それらを HB-LED に適用する方法についてのガイダンスを提供する必要があります。 信頼性と拡張性を確立するための製造環境 機器のIT統合のための通信フレームワーク。

HB-LED 機器の通信に関するこの仕様 インターフェースは、プロセスを含むすべての HB-LED 製造装置に適用されます。 フロントエンドおよびバックエンド生産で使用される自動化および計測システム エリア。ただし、これらの応用分野に限定されるものではありません。

この規格の範囲は通信に限定されます。 ファクトリーオートメーションシステム内の機器を統合するために使用されるインターフェース。

この規格は、次のように枚葉装置に適用できます。 バッチ装置も同様です。

この規格は、信頼できるサービスの基礎を築くことを目的としています。 HB-LED 製造のための拡張可能な IT 統合フレームワーク 多層アプローチを使用した実証済みの標準。標準リファレンス 既存の SEMI 通信規格を利用して、これらの層を可能な限り実現します。 結果として得られるフレームワークは、HB-LED 機器通信と呼ばれます。 インターフェース (HB-LED ECI)。

• この規格は、以下に基づいて物理/データリンク層を定義します。 イーサネット。
• この規格はメッセージに SEMI E37/SEMI E37.1 を利用します 移行。
• この標準は、以下に基づいてメッセージおよびデータ項目セットを定義します。 セミE5。
• この規格は HB-LED 機器の動作を定義します SEMI E30に準拠した通信インターフェース。

この範囲で指定されている SEMI 規格は、基本的に使用されます。 半導体業界と同じです。ただし、小さなセットでは、 アプリケーションを簡素化するために、制限と新機能が定義されています HB-LED 業界での受け入れレベルを向上させ、 一貫性。この規格には、レイヤーごとに 1 つのサブセクションが含まれています。 HB-LED の製造に適用される制限について説明します。それでもないし、 のために開発されたインターフェースの実装を調整するのは簡単であるべきです 半導体産業はこれらの制限を満たす必要があります。

参照SEMI規格（別途購入）

SEMI E5 — SEMI機器通信の仕様 標準2メッセージ内容（SECS-II）

SEMI E30 — の汎用モデルの仕様 製造装置の通信と制御 (GEM)

SEMI E37 — 高速 SECS メッセージの仕様 サービス (HSMS) 汎用サービス

SEMI E37.1 — 高速 SECS メッセージの仕様 サービス 単一選択セッション モード (HSMS-SS)

SEMI E40 — 処理管理の仕様

SEMI E87 — キャリア管理 (CMS) の仕様

SEMI E94 — コントロールジョブ管理の仕様

SEMI E148 — 時刻同期と TS クロック オブジェクトの定義

改訂履歴

SEMI HB4-0122 (技術改訂)

SEMI HB4-0913 (再承認 0419)

SEMI HB4-0913 (初公開)

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