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SEMI G95 - バックエンドプロセスにおけるテープフレームカセット用の 450 mm ロードポートの機械的特徴の仕様 -
Volume(s):
Packaging
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、機械的インターフェースを定義するものです。 半導体製造装置のロードポート、450mmテープフレーム カセット(450TFC)の着脱が可能です。この定義により、 ロードポートとキャリアの相互運用性を促進することを目的としています。 450 TFC を使用した自動化。
この規格のインターフェース仕様は、 450 mm テープ フレーム カセットに準拠したキャリアと嵌合することを目的としています。 (450 TFC) であり、450 TFC に適用されます。
この規格は機械的な仕様のみを規定することを目的としています。 450 TFC とロード ポート間のインターフェイス。
450 TFC のロードとアンロードは、次のように行われると想定されています。 半自動 (PGV) または自動 (AGV または OHT) ハンドリング。
参照SEMI規格（別途購入）
SEMI G88 — 450 mm ウェーハ用テープフレームの仕様
改訂履歴
SEMI G95-1120 (タイトル変更)
SEMI G95-0314 (技術改訂)
SEMI G95-0613 (初公開)
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