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SEMI G95 - 後工程における450mmウェーハ用テープフレームカセットのためのロードポートの機械的インターフェースの仕様 -
Volume(s):
Packaging
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、Assembly & Packaging Global Technical Committee で技術的に承認されています。現版は2013年6月4日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認されました。 .orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。
本スタンダードは450mm用テープフレームカセット（ 450TFC ）のロードおよびアンロードを行う半導体製造装置において、ロードポートの機械的なインターフェースを定義したものである。確保しつつ、 450TFCを用いた自動化が促進されることを目的とします。
本スタンダードのインターフェース仕様は、450mm用テープフレームカセット（ 450TFC ）に準拠してキャリアすることによって駆動し、結合することを目的としているもので、 450TFCに適合している。
本標準は450TFCとロードポート間の機械のインターフェースのみ標準化します。
本スタンダードでは半自動（PGVなど）や自動搬送（AGVやOHTなど） により450TFCをロード，ロードアンすることを想定している。
参照されるSEMI規格SEMI G88 — 450 mm ウェーハ用テープフレームの仕様
SEMI G92 — 450 mm ウェーハ用テープフレームカセットの仕様
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