SEMI G92 - 450 mm ウェーハ用テープフレームカセットの仕様 -

Abstract

この規格の目的は、機械的な仕様を規定することです。 450mmウエハテープフレームカセットの特長 実装工程とダイボンディング工程。

この基準は、適切なレベルを設定することを目的としています。 イノベーションを最小限に抑えながらも、 すべての機械的インターフェースにおけるモジュール性と互換性。

テープフレームカセットのメカニカルインターフェースのみ が指定されています。材料の種類や清浄度は定義されていません。

この規格は、半自動 (PGV) と 450 mm ウェーハ用のテープ フレーム カセットの自動処理 (AGV または OHT)。それ 手動による取り扱いに対処するつもりはありません。

450 mm ウェーハ フレーム カセットには次のコンポーネントが含まれています およびオプションのコンポーネント。オプションのコンポーネントは、 450 テープ フレーム カセット (TFC)。顧客のニーズに応じて追加することができます 要求または製造上の問題。

参照されるSEMI規格

SEMI G88 — 450 mm ウェーハ用テープフレームの仕様

SEMI G95 — 450 mm の機械的特徴の仕様 バックエンドプロセスにおけるテープフレームカセット用のロードポート

改訂履歴

SEMI G92-0315 (再承認 1220)

SEMI G92-0315 (技術改訂)

SEMI G92-0814 (技術改訂)

SEMI G92-1113 (技術改訂)

SEMI G92-0412 (初公開)

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