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SEMI G87 - 300 mm ウェーハ用プラスチック テープ フレームの仕様 -
Volume(s):
Packaging
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
の目的 この文書は、プラスチックテープフレームの仕様を標準化するものです。 ダイシングプロセスとダイボンディングの間に使用される300 mmウェハ プロセス、およびウェーハの取り扱いと輸送に使用されます。
これ この仕様は300mmウェーハ用のプラスチックテープフレームに適用されます。
この規格 寸法、機械的特性、測定値を記入します。 300mmウエハーテープフレームの方式です。
この規格 テープフレーム購入時の仕様としてご利用いただけます。
参照SEMI規格（別途購入）
なし。
改訂履歴
セミ G87-1108 (再承認1020)
SEMI G87-1108 (再承認 0215)
SEMI G87-1108 (初公開)
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