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SEMI G85 - 地図データ形式の仕様 -
Volume(s):
Packaging
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
注意:この規格または安全ガイドラインには無効な機能があります。 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、ステータス。 非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。 使用が有効であること。
このドキュメントでは、データ項目がどのように機能するかについて詳しく説明します。 電子地図に関連するデータはファイル形式で表現されます。
このドキュメントに記載されている例は次のようなものです。 ウェーハの場合、説明されているマップ データ形式はあらゆる基板に適用できます。 これには、ウェハー、トレイ、ストリップ、またはテープが含まれますが、これらに限定されません。
この文書は、地図データ項目のフォーマットに適用されます。これ この文書では、送信、ファイル命名規則、保存、または 地図のアーカイブ。
マップ データ項目のセマンティクスは、 このドキュメント。
参照SEMI規格（別途購入）
SEMI G81 — 地図データ項目の仕様
改訂履歴
SEMI G85-0703 (技術改訂)
SEMI G85-0303 (技術改訂)
SEMI G85-1101 (初公開)
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