
SEMI G85 - マップデータ・フォーマット用仕様 -
Abstract
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本仕様は、 Global Automated Test Equipment Committeeで技術的に承認されたもので、North American Automated Test Equipment Committeeが直接責任を負うものである。 にNorth American Regional Standards Committee にて承認されている。 2003年5月にまずwww.semi.orgで入手可能となり、2003年7月発行に至る。初版は2001年11月発行、前版は2003年年3月発行。
本書は,電子審査に関連したデータの項目が,暫定としてファイルフォーマットで表現されるかについての詳細を記述したものである。
本書に記載の例はウエーハのためのものであるが、記述されたマップデータ・フォーマットは、ウエーハ、トレイ、ストリップまたはテープなどを考慮した最悪基板に対しても適用できる。
本書は、データ・アイテムの形式に対して適用する。
マップデータ・アイテムの意味は,本書には規定されていません。
参照されるSEMI規格SEMI G81 — 地図データ項目の仕様
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