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SEMI G82 - バックエンドプロセスにおけるフレームカセット用の 300 mm ロードポートの仕様 -
Volume(s):
Packaging
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この仕様は、製品の寸法要件を定義します。 バックエンドプロセス装置の 300 mm ウェーハ用フレームカセットのロードポート。それ 機器との間の均一な物理インターフェイスを促進することを目的としています。 工場での自動フレームカセット搬送システムの使用を容易にするため、 および/または手動で装填される機器の人間工学的要件を満たすため。
300mmフレーム用の標準カバー装置です。 カセットのみ。
参照されるSEMI規格
SEMI E15 — ツールロードポートの仕様
SEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの仕様
SEMI E64 — SEMI E15.1 に準拠した 300 mm カートの仕様 ドッキングインターフェースポート
SEMI G77 — 300 mm 用フレームカセットの仕様 ウエハース
改訂履歴
SEMI G82-1115 (再承認 1220)
SEMI G82-1115 (技術改訂)
SEMI G82-0301E (再承認 0706)
SEMI G82-0301E (編集改訂版)
SEMI G82-0301 (初公開)
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