Japan Store
SEMI G78 - プロセス固有の測定を利用した自動ウェーハプローブシステムを比較するための試験方法 -
Volume(s):
Packaging
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この試験方法は世界的な自動試験装置委員会によって技術的に承認されており、北米自動試験装置委員会が直接責任を負います。最新版は、1998 年 12 月 18 日に北米地域標準委員会によって承認されました。最初は 1999 年 4 月に www.semi.org で入手可能でした。 1999年6月発行予定。
用語を定義し、自動ウェーハプローバ機能（精度、再現性、およびスループット）の比較または相対測定の手段を提供します。
参照されるSEMI規格SEMI E10 — 機器の信頼性、可用性、保守性（RAM）の定義と測定に関する規格
SEMI S2 — 半導体製造装置の安全ガイドライン
 |
Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards. |
Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.
0件