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SEMI G77 - 300 mm ウェーハ用フレームカセットの仕様 -
Volume(s):
Packaging
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
の目的 この規格は、300 mm ウェーハ フレームの機械的特徴を指定することです ウエハマウント工程とダイボンディング工程の間に使用されるカセット。
この規格 最小限の仕様を設定する適切なレベルの仕様を設定することを目的としています。 モジュール性と互換性を完全に確保しながら、イノベーションを制限する 機械的なインターフェース。
だけ フレームカセットの物理インターフェイスが指定されています。材料がありません 要件または微小汚染の制限が与えられます。ただし、これは 仕様は金属フレームカセットとプラスチックフレームカセットの両方を考慮して作成されました。 デザイン。
参照SEMI規格（別途購入）
SEMI E1.9 — 300 mmの輸送および保管に使用されるカセットの機械的仕様 ウエハース
SEMI E15 — 300 mm ツールロードポートの仕様
SEMI E47.1 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用される FOUPS の機械仕様
SEMI E57 ¾キネマティックカップリングの仕様 300 mm ウェーハキャリアの位置合わせとサポートに使用
SEMI G74 300mm用テープフレーム仕様 ウエハース
SEMI S8 ¾人間工学に関する安全ガイドライン 半導体製造装置のエンジニアリング
改訂履歴
SEMI G77-0699 (再承認 1020)
SEMI G77-0699 (再承認 0215)
SEMI G77-0699 (再承認 0706)
SEMI G77-0699 (初公開)
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