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SEMI G67 - シート材料からの粒子発生の測定のための試験方法 -
Volume(s):
Packaging
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
注意: この文書は編集上若干の変更を加えて再承認されました。
この試験方法では、シート材料上の粒子を測定する手順について説明します。
説明されている方法は、次のようなアイテムの粒子の測定に使用できます。
• リードフレームインターリーブ、
• クリーンルームペーパー、および
• 包装材。
この手順は、材料メーカーが品質管理のために使用したり、顧客が入荷検査時に使用したりできます。
参照されるSEMI規格なし。
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