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SEMI G26 - 密閉型スラムチップキャリア蓋の仕様 -
Volume(s):
Packaging
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この仕様は、0.050 インチのパッド中心線を持つハーメチック SLAM パッケージの構築に使用される、一般に蓋と呼ばれるセラミック片部分を対象としています。SLAM パッケージは、SEMI G5 で個別に扱われます。 参照されるSEMI規格なし。
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