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SEMI G6 - シールリングの平坦度の試験方法 -
Volume(s):
Packaging
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
注意:この規格または安全ガイドラインには無効な機能があります。 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、ステータス。 非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。 使用が有効であること。
この仕様では、 シールリングと 3 つの基準面との間の最大偏差 シールリングの固定点。この方法は、以下のサイズのパーツには機能しません。 0.330インチ×0.330インチ
参照SEMI規格（別途購入）
なし。
改訂履歴
SEMI G6-89 (技術改訂)
SEMI G6-84 (技術改訂)
SEMI G6-83 (初版)
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