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SEMI G6 - 検査方法 封止リング平坦度 -
Volume(s):
Packaging
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本仕様は、封止リングと封止リング上に固定された3点によって定義される基準面との間の最大偏差を決定する方法に関するものである。 mm （ 0.330平方）以下の部品には適用されません。
参照されるSEMI規格なし。
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