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SEMI F79 - ガス配送コンポーネントに使用されるガスのシリコンとの適合性に関するガイド -
Volume(s):
Facilities
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Gases Committee で技術的に承認されている。現版は2010年4月30日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 入手可能となる。 初版は2003 年7 月発行。
注意： 本書は、 2010 年に全面的に改訂されたものです。
このガイドの目的は、典型的なガス配送システムの条件で動作するガス供給システムの接ガス経路において、シリコンと接触ガスの適合性に関する情報を特定することである。
参照されるSEMI規格SEMI E52 — デジタルマスフローコントローラで使用されるガス、ガス混合物、蒸発性材料を参照するための実践
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