Japan Store
SEMI F77 - 腐食性のガスシステムに使用される合金表面の電気化学の臨界孔食温度の試験方法 -
Volume(s):
Facilities
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Gases Committee で技術的に承認されている。現版は2009年12月16日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 入手可能となる。初版は2003年7月発行。
注意: 本書は、編集上の修正を伴って、再承認されました。
この試験方法の目的は、半導体製造のための腐食性ガス配管システムに使用されるコンポーネントの接液表面の相対的な耐孔食性を決定することである。腐食性能を改善することを意図した合金組成とプロセスを区別することを意図している。
このテスト方法では，電気化学の臨界孔食温度（ CPT ）に基づいた手順を説明する。 この方法によって，腐食性ガスシステムに使われる代表的な仕上げ面を持つ配管や試片の接液面の耐孔食性のランク付けを行う。 孔食は、半導体用のガス供給システムの主要な腐食破壊形態であると思われる。
本試験方法は、ASTM G150の改作である。 この改版は、配管などのガス供給システムのコンポーネントから切り出した接液表面部や試験片について、試験の実行方法を記載する。法である。
本試験方法は、再現性がよく、耐腐食性の安定性（目視）評価に加え、定量的評価（臨界孔食温度）を提供する。
本テスト方法は、§ 4.1で参照されるSEMI規格で規格化されている材料およびそれらの材料の溶接部に適用される。
本テスト方法は、§ 4.1で規格化されていないその他の耐食性合金およびそれらの溶接部にも使用できる。
参照されるSEMI規格なし。
 |
Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards. |
Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.
0件