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SEMI F74 - ガス供給システムに使用されるメタルシール設計の性能と評価のためのテスト方法 -
Volume(s):
Facilities
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Gases Committee で技術的に承認されている。現版は2010年4月30日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 入手可能となります。 初版は2002年11 月発行。前版は2003 年11 月発行。
本書は、ガス供給システムでのメタルシール設計の使用を評価するためのテスト方法である。
参照されるSEMI規格SEMI E49 — 高純度および超高純度の配管性能サブアセンブリおよび最終アセンブリに関するガイド
SEMI F1 — 高純度ガス配管システムおよびコンポーネントのリーク完全性に関する仕様
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