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SEMI F73 - ステンレス鋼部品の接ガス表面状態の走査型電子顕微鏡（SEM）による評価試験方法 -
Volume(s):
Facilities
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Gases Committee で技術的に承認されている。現版は2009年1月2日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 ，そして2009年3月にCD-ROMで入手可能となりました。初版は2002年11月に発行されました。
本書では、高純度のガス配管システムに取り付けられるステンレス鋼部品の接ガス表面をテストする標準的な手順を定義する。この手順は、接ガス表面に現れる微視的な表面欠陥および汚染の発生やこのテスト方法での結果とプロセスガス汚染、あるいは高純度ガス配管システムによるプロセス内の製品歩留との間は、直接的な相関関係は無い本テスト方法を適用するにあたっては、構成部品の品質認定を目的として、本方法を使用者の間で比較可能かつ再現性のある結果を得ることを目的としている。
本方法の目的は，表面状態に関する重要なパラメータを正確で再現性のよい測定値を取得し，分析装置の各種パラメータと諸条件を全体的に考えるためである。
この手順は、ステンレス鋼製の配管、継ぎ手、バルブ、その他の構成部品の接ガス表面に適用し、表面仕上げと洗浄方法の有効性を決定する。ピット、介在物、列状介在物、スクラッチ傷、残留プロセスマーク、粒子界、汚染物など）の個数を超えない。ただし、試験材準備中に発生した表面損傷は評価の対象から賞する。
参照されるSEMI規格なし。
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