SEMI F72 - 不動態化処理した316Lステンレス鋼部品の接ガス表面の酸化膜のオージェ電子分光法（AES）による評価テスト方法 -

Abstract

本基準は、global Gases Committee で技術的に承認されている。現版は2009年1月2日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 ，そして2009年3月にCD-ROMで入手可能となりました。初版は2002年11月に発行されました。

本書の目的は、高純度のガス配管システムに取り付けられる不動態化処理した316Lステンレス鋼部品の表面成分をする特定の試験方法を定義することである。 ，バルブ，その他の部品の接ガス表面に適用し、不動状態化処理の有効性を測定することを目的とする。

本書は不動状態化の効果の指標として、ステンレス・スチールチューブ、継手、バルブ他の部品の接合ガス表面を試験して、その表面および表面近くの組成を測定する方法を規定する。

この方法の目的は，クロム富化した不動態酸化層内で再現性のよい測定値を得るために，装置の一般的なパラメータおよび測定条件を定めることである。

本書では、ステンレス鋼表面のクロム富化した不動態酸化層の成分と厚さ特定、配管、継ぎ手、バルブ、その他の部品の表面汚染を検出するためのテスト方法について。 は，オージェ電子分光法（ AES ）による表面元素成分の検出と測定が関わる。この手順では，たまままの表面から酸化膜層を通過しベース金属にまで到達する，クロム，鉄，ニッケル，酸素，炭素の深さ方向の成分を考慮する方法についても同様。本測定方法により，酸化層の厚さおよび不動状態化処理された領域全体のクロム富化に関する情報が得られる。

SEMI F19 — ステンレス鋼部品の接液面の表面状態に関する仕様
SEMI F60 — 不動態化された 316L ステンレス鋼部品の接液面の表面組成の ESCA 評価の試験方法

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