SEMI F71 - ガス供給システムの温度サイクル試験方法 -

Abstract

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免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

本ガイドラインは、Global Facilities Committeeで技術的に承認されたもので、日本施設委員会が直接責任を負うものである。現版は、 2002年7月19日に日本地域規格委員会にて承認された。 2002年9月にまずwww.semi.orgで入手可能となり、 2002年11月に発行。

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

本書の目的は、ガス供給システムにおける温度サイクルの漏れ性能の標準方法と手順を定義することである。

本試験方法は、半導体製造装置に設置されたガス供給システムに適用される。

SEMI F1 — 高純度ガス配管システムおよびコンポーネントのリーク完全性に関する仕様

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