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SEMI F64 - マスフローコントローラの指示および実流量に対する圧力影響を測定試験する方法 -
Volume(s):
Facilities
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Gases Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2011年9月12日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 およびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は2001年7月発行。前版は2007年3月発行。
注意: この文書は、編集上の修正を行い、再承認されました。
本書の目的は、ガス供給システムへの設置を検討しているマスフローコントローラ（ MFC ）の特性を測定する方法を規定することである。 および過渡圧力条件の影響を定量化します。
本書は MFC の圧力の影響を試験し、それを言うことに関しては、メーカーとユーザーの間で共通のコミュニケーション基盤を提供する。
参照されるSEMI規格なし。
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