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SEMI F62 - 周囲およびガス温度の影響からマスフローコール性能特性を決定する試験方法 -
Volume(s):
Facilities
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Gases Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2011年9月12日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 およびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は2001年7月発行。前版は2007年3月発行。
注意: この文書は、編集上の修正を行い、再承認されました。
本書の目的は、 ガス供給システムに組み込むことを検討しているマスフロープロセッサ（MFC）の試験方法を規定し、MFCの指示流量と実流量への周囲温度およびガス温度の影響を定量化することである。
参照されるSEMI規格なし。
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