SEMI F51 - エラストメトリック シーリング技術のガイド -

Abstract

この規格は、施設グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2017 年 6 月 28 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2017 年 9 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版発行は 2000 年 2 月。以前は 2015 年 11 月に出版されました。

O リングはもともと産業市場向けに開発され、その後航空宇宙向けに開発されました。現在の業界標準は、半導体シールの性能に特に関連するものではありません。この文書は、半導体製造装置におけるシールの使用に関する基本ガイドです。また、この文書は、所有コストを削減し、シールが組み込まれているプロセス装置の稼動時間を向上させるために、さまざまなプロセス用途に対するシーリング材料の多様な化学的および物理的特性を理解して、適切なシーリング材料を選択するためのガイダンスも提供します。さらに、この文書は、特に機器の実際の性能について議論する場合に、機器のユーザー、サプライヤー、OEM、およびシールメーカー間のコミュニケーションを可能にする用語を確立します。最後に、この文書は、最適なシール性能を維持するための適切なシールの清浄度、梱包、および取り扱いに関する情報を提供します。

このガイドは、半導体デバイスの製造で使用される動作環境でのシールの使用に適用されます。このガイドは、比較可能な測定でシール性能を判断し、シール材料を選択するための基準を定義するのに役立ちます。

SEMI C3 — ガスの仕様
SEMI D9 — フラットパネルディスプレイ基板の定義
SEMI E45 — 気相分解-全反射 X 線分光法 (VPD-TXRF)、VPD-原子吸光分析法 (VPD-AAS)、または VPD/誘導結合プラズマ質量分析法を使用した、微小環境からの無機汚染の測定のための試験方法(VPD/ICP-MS)
SEMI E49 — 高純度および超高純度の配管性能、サブアセンブリ、および最終アセンブリに関するガイド
SEMI F21 — クリーン環境における空気中の分子汚染物質レベルの分類
SEMI F40 — 化学試験用の液体化学薬品分配コンポーネントの準備の実践
SEMI F57 — 超純水および液体化学薬品の供給システムで使用されるポリマー材料およびコンポーネントの仕様
SEMI F61 — 半導体プロセスで使用される超純水システムのガイド
SEMI F75 — 半導体製造で使用される超純水の品質監視ガイド
SEMI P5 — ペリクルの仕様
SEMI S4 — 調剤キャビネットに含まれる化学シリンダーの分離に関する安全ガイドライン

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