SEMI F48 - ポリマー材料中の微量金属を測定するための試験方法 -

Abstract

この規格は、液体化学品グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2014 年 8 月 25 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2014 年 12 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能です。初版は 2000 年 6 月に出版されました。以前は 2009 年 7 月に出版されました。

この方法は、バルクポリマー材料中の不揮発性微量無機不純物を測定するための手順を提供します。

ドライアッシング (DDA) または密閉容器内での消化 (DCV) 前処理技術による消化に続き、SEMI F40 に従って事前に取得および洗浄されたサンプルは、誘導結合プラズマ質量分析 (ICP-MS)、グラファイト炉原子吸光法を使用して微量無機物について分析されます。分光法 (GFAAS) および/または誘導結合プラズマ原子発光分光法 (ICP-AES)。

分析用の資料には以下が含まれますが、これらに限定されません。

• パーフルオロアルコキシ（PFA）、ポリフッ化ビニリデン（PVDF）、エチレンクロロトリフルオロエチレン（ECTFE）、ポリエーテルエーテルケトン（PEEK）、ポリプロピレン（PP）、ポリエチレン（PE）、アセタール樹脂、ポリ塩化ビニル（PVC）などのポリマー原料（樹脂）のペレット、パーフルオロメチルエーテルベースのパーフルオロアルコキシ（MFA）とポリテトラフルオロエチレン（PTFE）の粉末。
• 超純水 (UPW) および液体化学分配システム (LCDS) で使用されるチューブ、配管、継手、バルブ、レギュレーター、フィルター ハウジング、フィルター カートリッジ、O リングおよびガスケットのポリマー コンポーネント。詳細については、¶ 3.8 を参照してください。
• イオン交換樹脂。
• ウエハキャリアやワンドなどの半導体デバイスの製造に使用されるポリマー製品、および湿式機器の内部付属品（スピンリンス乾燥機のドラム、クイックダンプリンサーのタンクなど）。詳細については、¶ 3.8 を参照してください。

この文書の DDA セクションでは、サンプルを白金または石英るつぼに入れて熱分解するアッシング技術について言及しています。マッフル炉またはマイクロ波マッフル炉での熱分解も使用できます。さらに、酸素プラズマは、これらの技術とは別に、または組み合わせて使用​​できます。

この文書の DCV セクションでは、高温高圧での密閉容器マイクロ波酸分解について言及しています。あるいは、密閉容器の熱伝導加熱を適用することもできる。

ICP-MS、GFAAS、および ICP-AES はすべて無機分析に適した方法です。 ICP-MS はより感度が高く効率的であるため、推奨される方法です。同じ分析性能基準を満たしている場合は、別の手順を使用することもできます。各研究室は、独自の運用内で各方法の有効性を検証する責任があります。

この方法は、表 1 にある要素に適用できます。

この方法は、エンドユーザーが希望し、目的の分析物、目的のマトリックス、目的の濃度レベルで性能が実証されている場合、他の材料や他の不揮発性要素にも使用できます。

SEMI F40 — 化学試験用の液体化学薬品分配コンポーネントの準備の実践

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