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SEMI F43 - ユースポイントガス精製器およびガスフィルタによるパーティクルに対する最適度を定量化するための試験方法 -
Volume(s):
Facilities
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、Gases Global Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2013年6月4日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 およびwww.semi.org で入手可能となる。初版は1999 年6 月発行。前版は2008 年3 月発行。
本書の目的は、高純度ガス分配システムおよび半導体製造プロセス装置に搭載するPOU精製器およびフィルタの試験方法について定義することである。 POU 精製器およびフィルタの間で比較可能なデータを得ることができる。
本書では，標準状態のもとで POU 精製器およびフィルタの粒子クル発生性能の比較を行うために考案された試験方法について説明する。 本試験方法は、室温で動作させる様々な種類の機能部品に適用される。精製器の定格フローは、 0 ～ 50 標準リットル／分（ slm ） フィルタにおける流量は 0 ～ 100 標準リットル／分（ slm ）の範囲内で契約しない。 <0} 本方法より大流量の機能部で使用する場合, 試験パラメータは製造業者とユーザーで合意しておかなければなりません。
この方法で説明されている実験構成は、POU精製器および独立設置のPOU フィルタを試験する場合に使用することができる。
参照されるSEMI規格SEMI E49.8 — 半導体製造装置における高純度および超高純度ガス供給システムのガイド SEMI F19 — ステンレス鋼部品の接液面の表面状態に関する仕様 SEMI F70 — ガス供給システムの粒子寄与率を測定するための試験方法
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