SEMI F41 - 半導体プロセスで使用されるバルク化学物質分配システムの認定ガイド -

Abstract

この規格は、液体化学品グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2016 年 8 月 31 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2016 年 11 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は1999年6月に出版されました。

注意: このドキュメントは 2016 年に完全に書き直されました。

このガイドは、エンドユーザーおよびサプライヤーがサイト固有の BCDS 仕様を開発するための基礎として使用できる、バルク化学品供給システム (BCDS) の認定に対する論理的かつ体系的なアプローチを説明します。

認定プロセスには以下が含まれます。

小型のデイタンクや輸送船に移送するメイン荷降ろしタンク施設などの大型移送施設向けのバルク配送システム。

別のシステムから受け取り、工場全体または複数の使用場所に分配する、施設レベルのバルク分配システム。

特定の用途にのみ分注する一括分配システム。

上記に指定されていない他の小規模システムに分配するバルク分配システム。

このガイドは、BCDS が BCDS メーカーの推奨および顧客の仕様に従って設置され、適切に漏れテストが行​​われ、使用時点 (POU) までの機械的および物理的完全性のすべての要件を満たしていることが示されていることを前提としています。この文書では、POU を容器、サブシステム、工場全体またはマルチポイントの分散システム、またはプロセス消費ポイントとみなします。

BCDS は通常、事前に合意された指定レベルに従って、粒子レベルと微量金属不純物についてテストされます。特定の用途または特定の化学物質については、認定プロセスに他の試験が組み込まれる場合があります。これらの他の試験には、アッセイ分析、アニオン分析、カチオン分析、全酸化可能炭素 (TOC) 分析、水分分析、抽出物、およびその他の不純物が含まれる場合があります。

SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド
SEMI F57 — 超純水および液体化学薬品供給システムで使用されるポリマー材料およびコンポーネントの仕様

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